Suppressor «InPulse H6» in acid copper baths (Atotech)

Význam tématu

U elektronického pokovování mědi na polovodičových součástkách a spojích je klíčové přesné řízení aditiv. Potlačovač InPulse H6 ovlivňuje kvalitu a rovnoměrnost nanesené měděné vrstvy, proto je spolehlivé stanovení jeho koncentrace zásadní pro optimalizaci procesu a zajištění reprodukovatelnosti.

Cíle a přehled studie

Cílem studie bylo vyvinout a validovat rychlou a přesnou metodu stanovení potlačovače InPulse H6 v kyselých mědních lázních. Použití ředicí titrace v kombinaci s cyklickou voltametrickou stripovací analýzou (CVS) mělo zajistit minimální přípravu vzorku a vysokou citlivost měření.

Použitá metodika a instrumentace

Pracovní roztok tvořila 100ml směs CuSO₄, H₂SO₄ a NaCl podle specifikací dodavatele. Analytická sestava zahrnovala:

• Pracovní elektrodu Pt-RDE s otáčkami 2000 rpm
• Pomocnou elektrodu Pt
• Referenční Ag/AgCl/KCl (3 mol/l) s mezilehlým elektrolytem KNO₃

CVS měření probíhalo za následujících parametrů:

• Startovací potenciál 1,575 V
• Vertikální body -0,25 V a zpět 1,575 V
• Potenciálový krok 0,006 V
• Rychlost skenu 0,1 V/s
• Hodnocení na základě poměru náboje Q/Q(0)=0,65

Hlavní výsledky a diskuse

Metoda prokázala lineární kalibrační křivku v rozsahu relevantních koncentrací potlačovače. Cyklické voltametrické prahy přinesly opakovatelné a citlivé odezvy s vrcholovým potenciálem kolem 0,2 V. Grafy intenzity proudu versus potenciál a závislost náboje Q/Q(0) na objemu ředicího roztoku potvrdily robustnost postupu.

Přínosy a praktické využití metody

Rychlá analýza bez složité přípravy vzorku umožňuje v reálném čase sledovat koncentraci potlačovače a optimalizovat dávkování aditiv. Metoda je vhodná pro automatizaci v průmyslové praxi i pro laboratorní QA/QC rutinu.

Budoucí trendy a možnosti využití

Možnosti rozšíření zahrnují miniaturizaci elektrochemických senzorů, integraci do online monitorovacích systémů, rozšíření na vícenásobnou detekci dalších aditiv a využití pokročilých datových analýz pro predikci chování procesů.

Závěr

Ředicí titrace spojená s cyklickou voltametrií poskytuje spolehlivý a efektivní nástroj pro stanovení potlačovače InPulse H6 v kyselých mědových lázních. Metoda splňuje požadavky praxe na rychlost, citlivost a reprodukovatelnost.

Reference

Atotech VA Application Note No. V-146, Version 1.0